CN112875639B 复合柔性衬底及其制作方法 （上海交通大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112875639B(45)授权公告日2025.01.03

(21)申请号202110097771.7

(22)申请日2021.01.25

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112875639A

(43)申请公布日2021.06.01

(73)专利权人上海交通大学

地址200240上海市闵行区东川路800号

(72)发明人杨卓青连江凯李亚辉刘玉

丁桂甫

(56)对比文件

CN101914296A,2010.12.15CN112251026A,2021.01.22审查员牛平杰

(74)专利代理机构上海智晟知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)31313

专利代理师张东梅(51Int.CL.

B81C1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图2页

(54)发明名称

复合柔性衬底及其制作方法

(57)摘要

CN112875639B本发明提供了一种复合柔性衬底及其制作方法，包括：包括多个金属基体模块和多个聚合物基体模块，其中：金属基体模块与聚合物基体模块按照规律交错排布，以使任意两个聚合物基体模块被金属基体模块间隔开；金属基体模块与聚合物基体模块的接触面进行固定连接；交错排

CN112875639B

CN112875639B权利要求书1/1页

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1.一种复合柔性衬底，其特征在于，包括多个金属基体模块和多个聚合物基体模块，其

中：

金属基体模块与聚合物基体模块按照规律交错排布，以使任意两个聚合物基体模块被金属基体模块间隔开；

金属基体模块与聚合物基体模块的接触面进行固定连接；

交错排布的金属基体模块与聚合物基体模块共同构成长方体的金属-聚合物复合柔性衬底，

其中所述金属-聚合物复合柔性衬底的长度方向为排布方向，所述金属基体模块的长度方向与排布方向成一定夹角，所述夹角为30°~135°之间；

调节所述夹角以调节聚合物基体模块在沿排布方向和垂直于排布方向上的热膨胀系数比值，

其中调节金属基体模块的深宽比、金属基体模块的分布数目、金属基体模块长度、以及金属基体模块宽度中的一个或多个，以调节聚合物基体模块在沿排布方向和垂直于排布方向上的热膨胀系数的各向异性，

其中不同的金属基体模块之间互相不接触。

2.如权利要求1所述的复合柔性衬底，其特征在于，金属基体模块与聚合物基体模块的形状包括两个截面为直角三角形的三棱柱、多个截面为等腰梯形的四棱柱、多个相同的平行六面体，其中，所有三棱柱、四棱柱、平行六面体的高度相等；

三棱柱、四棱柱、平行六面体以与高度方向垂直的平面为接触面紧密排布，形成长方体的金属-聚合物复合柔性衬底。

3.如权利要求1所述的复合柔性衬底，其特征在于，所述聚合物基体模块的材料为聚二甲基硅氧烷或聚酰亚胺或聚乙烯。

4.如权利要求1所述的复合柔性衬底，其特征在于，所述金属基体模块的材料为镍或铜。

5.如权利要求1所述的复合柔性衬底，其特征在于，所述金属基体模块通过电镀金属形成。

6.一种制作如权利要求1所述的复合柔性衬底的方法，其特征在于，包括：

准备多个形状为长方体的金属基体模块和聚合物基体模块，将金属基体模块和聚合物基体模块沿排布方向排布后，组成衬底材料层；

根据复合柔性衬底的用途确定长方体的金属-聚合物复合柔性衬底的侧面与排布方向的夹角，根据夹角在衬底材料层上切割，形成长方体的金属-聚合物复合柔性衬底；

该复合柔性衬底可以调控柔性衬底的热膨胀系数，适用于灵活应用多种用途的复合柔性衬底的制作；

通过调节所述夹角以调节聚合物基体模块在沿排布方向和垂直于排布方向上的热膨胀系数比值。

CN112875639B说明书1/6页

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复合柔性衬底及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及微机电系统技术领域，特别涉及一种复合柔性衬底及其制作方法。

背景技术

[0002]柔性衬底作为柔性微机电系统(MEMS)器件中必要的组成结构之一，被广泛运用于诸如柔性应变传感器、温度传感器等柔性MEMS器件。相对于传统MEMS器件的结构固定、材料脆、不易变形等特点而言，柔性MEMS器件具有能弯曲、易拉伸、变形适应能力强等特点，因而被应用于更加