CN113131781B 一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器及其制作方法 （北京理工大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113131781B(45)授权公告日2022.07.05

(21)申请号202110361807.8

(22)申请日2021.04.02

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113131781A

(43)申请公布日2021.07.16

(73)专利权人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

号

专利权人钱塘科技创新中心

(72)发明人罗凯闫子文李珂

(74)专利代理机构北京理工大学专利中心

C08K3/04(2006.01)

C08L83/04(2006.01)

(56)对比文件

CN109980080A,2019.07.05

US2020/0131890A1,2020.04.30审查员嵇恒

11120

专利代理师代丽郭德忠

(51)Int.CI.

HO2N2/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器及其制作方法

(57)摘要

CN113131781B本发明提供了一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器及其制作方法，能够制造出变形曲率可调的驱动器，电极编辑后可实现通电后面外变形高斯曲率可变，驱动器不容易出现放电现象，使用寿命长。本发明的多层介电弹性体驱动器制作方法，将单壁碳纳米管作为柔性电极，无需预拉伸，可编辑电极形状，可复现，操作简单，堆叠稳定性和贴合性好，制作成本低。本发明的介电弹性体驱动器多层之间贴合性好，驱动电压

CN113131781B

硅片层

CN113131781B权利要求书1/1页

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1.一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1,设定多层介电弹性体驱动器的电极层数；

设计电极形状，按照设计形状切割PET薄片，获得后续转印电极所需的掩模；

步骤2,以硅片为基底，在其表面上喷涂粘合剂，并使用旋涂机在表面旋涂一层PDMS薄膜；

步骤3,加热使PDMS固化，得到电极层；将电极层转印到覆盖PET掩模的PDMS膜表面，得到编辑后的电极；

其中，使用通过超声波震荡得到碳纳米管溶液，而后使用PTFE过滤膜过滤得到单壁碳纳米管电极层；通过对不同层电极的形状编辑，改变每层介电弹性体薄膜上下对应的电极面积，其中从下到上为半径依次递减的圆形电极；

步骤4,在步骤3得到的电极上层继续旋涂PDMS,然后返回执行步骤3,直至得到设定层数的多层介电弹性体驱动器；

步骤5,在N-甲基吡咯烷酮中浸泡去除硅片和所述驱动器之间的粘合剂，而后利用切刀整形，用C-PDMS包裹住电极部分并静置固化，导出电极，完成多层介电弹性体驱动器的制作。

2.如权利要求1所述的电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，所述步骤5中，使用质量比为1:12的碳粉和PDMS配置成的导电橡胶C-PDMS。

3.如权利要求1所述的电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，所述步骤1中，采用激光切割机按照设计形状切割PET薄片。

4.如权利要求1所述的电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，所述步骤5中，用C-PDMS包裹住电极部分并静置固化12h。

5.一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器，其特征在于，采用如权利要求1-4任意一项所述制作方法得到；其中，多层介电弹性体驱动器为5层，上下两层为封装层，驱动器内电极为四层，其形状为圆形，且电极半径随堆叠层数逐层递减。

CN113131781B说明书1/4页

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一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及软体机器人软作动技术领域，具体涉及一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器及其制作方法。

背景技术

[0002]介电弹性体属于一种电致驱动的变形材料，又称人工肌肉。在介电弹性体表面覆盖柔性电极层，在外加电场激励下，介电弹性