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公司半导体分立器件和集成电路键合工职业健康、安全、环保操作规程

文件名称：公司半导体分立器件和集成电路键合工职业健康、安全、环保操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司半导体分立器件和集成电路键合工岗位的操作人员。规程旨在确保操作人员在进行键合作业过程中，遵守职业健康、安全和环保标准，预防事故发生，保障员工身心健康及环境保护。操作人员应严格遵守本规程，确保生产安全与环保。

二、操作前的准备

1.防护用具的正确使用方法：

-操作人员需穿戴符合国家安全标准的防护服、防护手套、防护眼镜、防尘口罩等个人防护装备。

-防护服应选择透气性好、防静电材料制成，确保穿着舒适且不影响操作。

-防护手套应适合手型，佩戴时应确保手套与手指贴合紧密，无破损。

-防护眼镜应能有效地防止有害气体和飞溅物进入眼睛。

-防尘口罩应正确佩戴，确保密封良好，无漏气。

2.设备启机前的检查项目：

-检查设备外观是否有损坏，特别是键合头的状态，确保其无裂痕或磨损。

-检查设备电路板，确保所有连接线无松动，电路元件无烧毁。

-检查设备油压系统，确保油压稳定，无泄漏。

-检查设备冷却系统，确保冷却液充足，冷却效果良好。

-检查设备安全防护装置，如紧急停止按钮、安全栅栏等，确保其功能正常。

3.作业区域的准备要求：

-作业区域应保持整洁，无杂物，确保操作空间充足。

-地面应铺设防静电地板，减少静电产生，防止对设备造成损害。

-作业区域应配备足够的照明，确保操作人员视线清晰。

-作业区域应设置警示标志，提醒操作人员注意安全。

-作业区域应配备急救箱和消防器材，以备不时之需。

-确保作业区域通风良好，避免有害气体积聚。

操作人员在进行操作前，应认真阅读并理解上述准备工作，确保所有安全措施得到妥善执行，为后续的操作安全打下坚实基础。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

-确认生产任务，核对物料信息，确保正确无误。

-按照操作规程，依次完成设备预热、调试和校准。

-启动设备，观察设备运行状态，确保各部分正常工作。

-将物料放置在指定的工位，按照操作规程进行键合。

-操作过程中，密切关注键合参数，确保工艺稳定。

-完成键合后，进行设备冷却和停机操作。

-清理设备，更换易耗品，为下一次生产做好准备。

2.特殊工序的操作规范：

-高温键合：在操作高温键合设备时，需严格按照工艺参数进行，确保温度均匀，防止器件损坏。

-精密键合：对于精密键合工序，需特别关注键合压力和速度的调整，确保键合质量。

-特殊材料键合：针对特殊材料的键合，需使用专用的键合材料和工艺，确保键合强度和可靠性。

3.异常工况的处理方法：

-设备故障：当设备出现故障时，立即停止操作，通知维修人员进行检查和处理。

-键合不良：若发现键合不良，重新检查工艺参数，必要时进行返工处理。

-环境异常：如遇到异常天气或环境污染，应立即采取措施，如关闭门窗、调整通风等，确保操作环境安全。

-人员伤害：若操作过程中发生人员伤害，立即停止操作，启动应急预案，进行紧急救治。

-突发事件：遇有火灾、爆炸等突发事件，迅速撤离现场，报警并按应急预案执行。

操作人员应熟悉以上操作步骤和规范，严格按照规程执行，确保生产过程的连续性和产品质量的稳定性。同时，对于异常情况，应能迅速做出判断并采取相应措施，以防止事故的发生。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

-电流：设备运行时的电流应稳定在额定范围内，波动幅度不应超过±5%。

-电压：设备运行时的电压应与供电电压相匹配，波动幅度不应超过±5%。

-温度：设备运行时，各关键部件的温度应在设备允许的工作温度范围内，一般不超过70℃。

-噪音：设备运行时，噪音应控制在规定的范围内，不超过85分贝。

-油压：对于油压系统，油压应稳定在设定的压力值，波动幅度不应超过±10%。

-键合压力：键合过程中的压力应稳定在设定值，误差不应超过±5%。

-键合速度：键合速度应与工艺要求相符，保持恒定，误差不应超过±5%。

2.典型故障现象：

-设备异常噪音：设备运行时出现异常噪音，可能是轴承磨损、齿轮间隙过大或传动带松弛。

-设备过热：设备运行时过热，可能是冷却系统故障、散热不良或负载过重。

-电流电压异常：设备运行时电流电压超出正常范围，可能是供电系统问题或设备内部电路故障。

-键合不良：键合后器件出现松动、脱落或键合强度不足，可能是键合压力或速度不正确。

-设备停机：设备突然停机，可能是安全保护装置触发、