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超精密加工光学表面：误差检测技术剖析与质量评估体系构建

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，超精密加工已然成为众多高新技术领域得以发展的关键支撑技术，在国防建设、航空航天、电子信息、生物医疗等诸多重要领域发挥着不可或缺的作用。超精密加工技术是指被加工零件的尺寸和形位误差小于零点几微米，表面粗糙度介于几纳米到十几纳米之间的加工技术，它综合应用了机械技术发展的新成果及现代光电技术、传感技术、测量技术和计算机技术等先进技术，其发展水平是衡量一个国家高科技发展水平及潜力的重要标志。

在光学领域，光学元件的表面质量对光学系统的性能有着决定性影响。从普通的相机镜头，到高端的天文