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- 约 73页
- 2026-02-11 发布于江西
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摘要
新兴的二维材料作为场效应管沟道的替代选择,有望解决了传统硅基材料在
微型化过程中的短沟道效应问题,为后摩尔时代的集成电路发展提供了关键支
持。本文针对二维半导体BiTeS的场效应晶体管性能展开系统性研究,探索其
22
在高性能与低功耗电子器件中的应用潜力。通过第一性原理计算与量子输运模拟
结合,阐明了该材料的本征特性及其在纳米尺度器件中的性能优势,为新型二维
半导体器件研发提供理论依据。
(1)二维材料基本特性方面,研究采用密度泛函理论对单层BiTeS进行结
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构优化,发现其具有独特的S-Bi-Te-Bi-S层状构型,平衡晶格常数为4.17Å,有
效厚度达10.50Å。300K下具有良好的热力学稳定性,通过声子谱分析证实材料
动态稳定性,Born准则验证其力学稳定性。电子结构计算表明,带隙为1.01eV,
覆盖近红外吸收谱段。理论载流子迁移率展现出显著各向异性,电子迁移率高达
2-1-12-1-1
到26653cm·V·s,考虑电声耦合的电子迁移率为811cm·V·s,显著优于传
统二维半导体(如MoS)。光学特性研究发现,单层BiTeS在近红外波段具
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有超过30%的光吸收率。这些特性为新型电子器件的研发提供了极具价值的材
料选择,尤其在场效应管领域展现出巨大应用潜力。
(2)器件设计层面,研究采用非平衡格林函数与密度泛函理论结合方法,
设计双栅极n/p型单层BiTeSMOSFET器件模型。通过系统研究7nm至亚5nm
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栅长范围的输运特性,评估器件关键参数与国际器件与系统路线图(IRDS)的
技术对标。实验表明:采用UL=2、g=7nm的y向n型器件表现出卓越高频性
能,导通电流达6199µA/µm(超IRDSHP标准5.7倍),亚阈值摆幅78mV/dec
与功率延迟积0.219fJ/µm逼近基准值,适用于高算力场景。对比分析显示,UL=0
配置仍维持2549µA/µm电流输出,但亚阈值摆幅增至129mV/dec。在低功耗优
化方面,UL=4、=7nm的x方向器件实现突破性进展:亚阈值摆幅降至51
g
mV/dec,以及0.081fJ/µm的功率延迟积彰显其超低功耗特性。同参数y方向器
件获得1032µA/µm导通电流(SS=70mV/dec),更适应常规性能需求场景。
研究揭示栅长缩减至5nm会劣化亚阈值特性,但y方向结构具有更高载流密度
优势。与IRDS对比显示3-5nm栅长在保持能效前提下,可显著提升电流驱动能
力,验证其在高效集成电路中的应用潜力。
关键词:二维半导体;BiTeS;场效应管;量子输运模拟;载流子迁移率;第
22
一性原理
Abstract
Emergingtwo-dimensional(2D)materialsasalternativechannelmaterialsfor
field-effecttransistors(FETs)holdpromiseforaddressingshort-channeleffectsin
traditionalsilicon-basedmaterialsduringminiaturization,providingcriticalsuppor
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