CN110794649B 一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法 （上海交通大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN110794649B公告日2021.08.24

(21)申请号201911098509.3

(22)申请日2019.11.12

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110794649A

(43)申请公布日2020.02.14

(73)专利权人上海交通大学

地址200240上海市闵行区东川路800号

(72)发明人周文文王惟圣丁桂甫高峰王广元蔡涵

(74)专利代理机构上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31313

代理人张东梅

(51)Int.CI.

GO3F7/004(2006.01)

GO3F7/038(2006.01)

(56)对比文件

CN102458839A,2012.05.16

审查员陈雪红

权利要求书1页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法

(57)摘要

CN110794649B本发明公开了一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法。该结构包括：玻璃纤维；以及光刻胶，所述光刻胶包覆所述玻璃纤维。基于本发明的该种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构与现有技术相比具有如下优点：1)提高了光刻胶的拉伸模量与断裂强度，从而扩大光刻胶作为结构材料在MEMS技术中的应用；2)保证了光刻胶对光能量具有较高的利用率，复合结构对光刻胶的光敏特性不造成影响；3)不改变光刻胶的曝光以及显影方式，不影响其光刻成型；4)裸露

CN110794649B

100

120

120

CN110794649B权利要求书1/1页

2

1.一种制作基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构的方法，包括：

进行基片与玻璃纤维的预处理；

在基片表面进行玻璃纤维与光刻胶的复合，所述光刻胶为SU-8光刻胶；

进行烘胶及光刻工艺；以及

去除显影后窗口裸露出的玻璃纤维，

其中所述进行基片与玻璃纤维的预处理包括：

对基片进行等离子清洗，使用丙酮对编织玻璃纤维进行清洗，烘干后将编织纤维剪成基片形状，或者

对基片进行等离子清洗，将玻璃纤维用丙酮清洗后，放入偶联剂与乙醇的混合液中浸泡一定时间后取出烘干；烘干后取一定量的玻璃纤维加入到一定量的光刻胶中，在设定温度的热水浴下，通过机械搅拌和或超声波搅拌充分混匀。

2.如权利要求1所述的制作基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构的方法，其特征在于，所述去除显影后窗口裸露出的玻璃纤维是通过稀释的氢氟酸溶液中进行裸露的玻璃纤维刻蚀。

3.如权利要求1所述的制作基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构的方法，其特征在于，所述增强型光刻胶的曝光显影进而图形化的光刻成型特性得以保持。

4.一种通过权利要求1至3中任一项所述的方法制作的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，包括：

玻璃纤维；

光刻胶，所述光刻胶包覆所述玻璃纤维，所述光刻胶为SU-8光刻胶；以及

图形化窗口，所述图形化窗口形成在基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构中，所述图形化窗口所在的区域既没有光刻胶也没有玻璃纤维。

5.如权利要求4所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述玻璃纤维为编织玻璃纤维布或短切玻璃纤维。

6.如权利要求5所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述编织玻璃纤维布为双轴向编织或三轴向编织，编织角为±30°或±45°或±60°,纤维缠绕方式为1/1或2/2或3/3编织结构。

7.如权利要求5所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述短切玻璃纤维为E型玻璃纤维、A型玻璃纤维、C型玻璃纤维、S型玻璃纤维的一种或组合。

8.如权利要求5所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述编织玻璃纤维布的层数为N,其中N≥1。

CN110794649B说明书1/6页

3

一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及电子和半导体材料及光刻胶技术领域，尤其涉及一种应用与微机电系统制造的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法。

背景技术

[0002]SU-8光刻胶是一种负性基于环氧树脂的近紫外光致抗蚀剂材料。它一次旋涂可形成数百微米厚的胶层，在近紫外