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SOI基微环相位传感器与微流通道协同工艺的深度剖析与创新探索

一、引言

1.1研究背景

在当今科技飞速发展的时代，微纳技术凭借其独特的优势，被广泛应用于众多领域，为各个领域的创新和发展提供了强大的技术支持。在微电子领域，相位传感器及流量传感器作为关键的基础元件，经过长期的研究与发展，已经达到了相对成熟的阶段，在通信、医疗、环境监测等众多领域发挥着不可或缺的作用。然而，传统的相位传感器及流量传感器通常采用MEMS技术制作，这种制作方式虽然在一定时期内满足了部分应用需求，但随着技术的不断进步和应用场景的日益复杂，其弊端也逐渐显现。

传统相位传感器及流量传感器存在着诸多缺点，严重限制了其在实