P型单晶硅电火花多线切割工艺参数优化.pdfVIP

P型单晶硅电火花多线切割工艺参数优化.pdf

机械工程师

MECHANICALENGINEER

P型单晶硅电火花多线切割工艺参数优化

11,21111

常皓，李中盼，赵霞，张梦洋，郭家乐，李磊

（1.郑州职业技术学院智能制造学院，郑州450121；2.郑州晖光科技有限公司，郑州450121）

摘要：

为探索电火花多线切割加工P型单晶硅过程中工艺参数对表面加工质量和加工效率的影响，采用正交试验法，分

析加工电流、单次切片数量及脉冲宽度对切割速度和表面粗糙度工艺指标的影响。建立工艺指标数学预测模型，利用RBF

神经网络对已有试验数据进行训练，采用萤火虫算法对工艺参数进行优化。研究结果显示，建立的预测模型的切割速度平

均误差为16.7%，表面粗糙度的平均误差为14.1%。经优化后的最优工艺参数为单次切片数量4片、加工电流7A及脉冲宽

度64μs。

关键词：

P型单晶硅；电火花多线切割；正交试验；RBF神经网络

中图分类号:TG661文献标志码:粤文章编号：员园园圆原圆猿猿猿（圆园25）06原园161原园源

ProcessParameterOptimizationofP-typeMonocrystalSiliconMulti-WEDM

11,21111

CHANGHao,LIZhongpan,ZHAOXia,ZHANGMengyang,GUOJiale,LILei

(1.SchoolofIntelligentManufacturing,ZhengzhouTechnicalCollege,Zhengzhou450121,China；

2.ZhengzhouHuiguangTechnologyCo.,Ltd,Zhengzhou450121,China)

Abstract:InordertoexploretheeffectofprocessparametersonsurfacemachiningqualityanmachiningefficiencyofP-

typemonocrystallinesiliconinEDM.Theeffectsofmachiningcurrent,pulsewidthannumberofsinglesliceonsurface

roughnessancuttingspeeareanalyzebyorthogonalexperiment.RBFneuralnetworkisusetotrainthetestdata,an

themathematicalpredictionmodelofprocessindexisestablished.Fireflyalgorithmisusetooptimizetheprocess

parameters.Theresultsshowthattheaverageerrorofcuttingspeeansurfaceroughnessis16.7%an14.1%respectively.

Afteroptimization,thenumberofsinglesliceis4,theprocessingcurrentis7Aanthepulsewidthis64滋s.

Keywords:P-typemonocrystallinesilicon;multi-wirecuttinginEDM;orthogonalexperiment;RBFneuralnetwork