宣贯培训(2026年)GBT 28275-2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范》.pptxVIP

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目录

一、专家深度视角：解读《GB/T28275-2012》为何是硅基MEMS氢氧化钾腐蚀工艺的“奠基性法典”与未来产业化的核心基石

二、从原理到实践：深度剖析氢氧化钾溶液对硅晶体各向异性腐蚀的本质机制与热力学动力学核心模型

三、工艺心脏的精密调控：专家带您逐一拆解浓度、温度、添加剂与搅拌四大关键工艺参数的前沿控制逻辑

四、未雨绸缪：全面梳理硅片晶向、掺杂浓度与缺陷状态等材料初始条件对腐蚀形貌与速率的决定性影响

五、不止于湿法：深度比较氢氧化钾腐蚀与TMAH、EPW等各向异性腐蚀及干法深刻蚀技术的综合权衡与选择矩阵

六、质量生命线：构建从腐蚀深度、表面粗糙度到侧壁形貌的全维度