CN1619259A 一种柔性传感器的制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200410061275.2

[51]Int.Cl?

G01D5/12

B81C1/00

[43]公开日2005年5月25日[11]公开号CN1619259A

[22]申请日2004.12.6

[21]申请号200410061275.2

[71]申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

[72]发明人陈四海马宏汪殿民王志勇朱福龙潘峰徐涌

易新建

[74]专利代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青

权利要求书1页说明书5页附图3页

[54]发明名称一种柔性传感器的制作方法

[57]摘要

本发明公开了一种柔性传感器的制作方法，步骤为：制作刚性传感器；在刚性传感器的晶片前表面上旋涂一层10-15μm厚的聚酰亚胺，再甩20-30μm厚的光刻胶；晶片后表面被深刻蚀减至60-80μm厚，形成硅岛；在后表面沉积一层300-500nm厚的氮化硅，光刻成形后，刻蚀硅片直到金属层；然后采用反应离子刻蚀方法刻蚀步骤(4)沉积的氮化硅；旋涂另一层10-15μm厚的聚酰亚胺于后表面来覆盖硅岛，即获得传感器可以卷曲起来，并广泛应用于非平面表面。柔性传感器制作成创可贴式的，随意贴于人体皮肤上，也可以运用于飞行器的控制领域。柔性传感器作为一个的新发展领域，将大大促进MEMS传感器的应用前景和应用范围。

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4724-8001NSSI

知识产权出版社出版

200410061275.2权利要求书第1/1页

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1、一种柔性传感器的制作方法，其步骤包括：

(1)制作刚性传感器；

(2)在刚性传感器的晶片前表面上旋涂一层10-15μm厚的聚酰亚胺，再甩20-30μm厚的光刻胶；

(3)晶片后表面被深刻蚀减至60-80μm厚，形成硅岛空腔；

(4)在后表面沉积一层300-500nm厚的氮化硅，光刻成形后，刻蚀硅片直到金属层，形成硅岛阵列结构；

(5)然后采用反应离子刻蚀方法刻蚀步骤(4)沉积的氮化硅；

(6)旋涂另一层10-15μm厚的聚酰亚胺于后表面来覆盖硅岛，即获得柔性传感器。

200410061275.2说明书第1/5页

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一种柔性传感器的制作方法

技术领域

本发明属于微机电系统(MEMS)技术领域，具体涉及一种柔性传感器的制作方法。

背景技术

自从1962年第一个硅微压力传感器面世以来，微传感器得到了迅速的发展。然而，大多数传感器是利用传统的技术：光刻、刻蚀、沉积等工艺在刚性衬底(如硅，石英等)上制作的，如一些面阵触觉传感器、谐振力敏传感器、微型加速度传感器以及真空微电子传感器等。在实际应用中，

能贴于任意曲面的柔性传感器需求越来越多，国外一些研究机构早在上个世纪八十年代就开始了对这种柔性传感器的研究，并将其应用在生物医学、机器人、军事等领域，如BARTH等人在1985年报导在柔性聚酰亚胺衬底上制作硅温度传感器阵列的技术。该温度传感器可以用在癌症治疗方面：在高温治疗癌症时，要将温度传感器植入患者的肿瘤部位，这就需要这种柔性的对组织无损伤的温度传感器。触觉是机器人实现与外部环境直接作用的必需媒介，柔性皮肤触觉传感器可以模拟人的感觉，在机器人领域备受重视。美国UniversityofIllinoisatUrbana-Champaign的研究人员开发了机器人触觉传感器，可以感知物体的几何尺寸、压力、温度、滑动等，具有很好的稳定性。日本佐贺大学用柔软、韧性好的压感导电橡胶研制了检测温度、硬度、热传导性的触觉传感系统。随着MEMS技术的发展，如果将柔性传感器制作和基于柔性皮肤层(flexibleskin)的集成电路微制作技术溶为一体，则可以形成大面积的柔性传感器，这种发展趋势越来越受到国际一些研究机构和公司的重视。著名半导体制造商德国Infineon公司宣称成功开发出了在布料上嵌入大规模集成电路(LSI)和布线的技术，在夹克衫和罩衫上嵌入MP3播放器，制作了“可水洗MP3播放器”,也称为“Wearable