CN1713001A 站立式微透镜及其制作方法 （中华电信股份有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局[51]Int.Cl?

G02B3/06

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200510085684.0

[43]公开日2005年12月28日[11]公开号CN1713001A

[22]申请日2005.7.26

[21]申请号200510085684.0

[71]申请人中华电信股份有限公司

地址台湾省桃园县杨梅镇新荣里民族路5段551巷12号

[72]发明人杨智超何充隆何文章廖枝旺吴孟奇

[74]专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人曾旻辉胡杰

权利要求书2页说明书8页附图8页

[54]发明名称站立式微透镜及其制作方法

[57]摘要

一种可整合于微光学或微光电系统的站立式微透镜及其制作方法，是利用微影制程形成的高分子材质柱状结构，将柱状结构顶端浸入均匀混合的液态高分子溶液中(如光阻、聚亚酰胺Polyimide等),该液态高分子吸附于柱状结构物顶端，该附着于柱状结构顶端上的液态高分子，因表面张力内聚，其横截面呈弦圆状，通过热处理去除溶剂及固化后，即可作为微光学系统中的微透镜组件；通过高分子材质的选用，此站立式微透镜可由单一材质或由复合材质所构成。

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4724-8001NSSI

知识产权出版社出版

200510085684.0权利要求书第1/2页

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1.一种站立式微透镜，其特征在于：它为附着于高分子柱状结构顶端上的横截面呈弦圆状的高分子材质双凸微透镜。

2.一种站立式微透镜的制作方法，包括下列的步骤：

步骤一：提供微光学或微光电系统的基材，至少包含基板与基板上的高分子膜层；

步骤二：采用微影制程，于该高分子膜层上定义柱状结构区域，于显影后形成高分子柱状结构；

步骤三：提供载台供制备均匀的液态高分子膜；

步骤四：将该高分子柱状结构倒置，垂直浸入步骤三所制备的均匀液态高分子膜中，静置一段时间后分离，使液态高分子膜悬附于该柱状结构上，并因表面张力内聚呈透镜状；

步骤五：通过热处理去除悬附于柱状结构上液态高分子透镜内的溶剂，形成具热稳定性的双凸微透镜。

3.一种站立式微透镜的制作方法，包括下列的步骤：

步骤一：提供微光学或微光电系统的基材；

步骤二：于基材上施加蚀刻屏蔽，定义组件平台区域后，即进行蚀刻制程以形成组件平台；

步骤三：于该具有组件平台之基材上，以旋转涂布方式覆上感旋光性高分子材料；

步骤四：通过微影制程在该感旋光性高分子材料层上定义柱状结构区域，显影后形成高分子柱状结构；

步骤五：提供载台供制备均匀的液态感旋光性高分子膜用；

步骤六：将步骤四所述的高分子柱状结构倒置，垂直浸入该均匀的液态感旋光性高分子膜，静置一段时间后分离，使高分子膜悬附于该柱状结构与该组件平台两侧及上方，其中悬附于该柱状结构上的液态高分子膜，因表面张力内聚呈透镜状；

200510085684.0权利要求书第2/2页

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步骤七：通过热处理去除该悬附于柱状结构与该组件平台两侧及上方的液态高分子膜的溶剂；

步骤八：通过微影制程移除该组件平台上悬附的感旋光性高分子材料，留下该柱状结构上悬附的透镜状感旋光性高分子材料，此时基材上即具有组件平台及具热稳定性之站立式高分子双凸微透镜。

4.根据权利要求2或3所述的站立式微透镜的制作方法，其特征在于：所述的基板可为硅、氧化铝、玻璃、砷化镓，或磷化铟等所制成的基板。

5.根据权利要求2或3所述的站立式微透镜的制作方法，其特征在于：所述的载台为一平坦表面，可供盛放液态高分子膜。

6.根据权利要求2或3所述的站立式微透镜的制作方法，其特征在于：所述的载台具有凹槽，可供盛放液态高分子膜。

7.根据权利要求2或3所述的站立式微透镜的制作方法，其特征在于：其中液态高分子膜的热裂解温度高于200℃。

8.根据权利要求2或3所述的站立式微透镜的制作方法，其特征在于：其中该双凸微透镜通过高分子材料的选用，可为单一材质微透镜或复合材质微透镜。

9.根据权利要求2或3所述的站立式微透镜的制作方法，其特征在于：其中该双凸微透镜的曲率半径可通过调整液态高分子膜的