CN1554961A 一种硅基可变形反射镜及其制作方法.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200310111664.7

[51]Int.Cl?

G02B7/182

G02B26/08

[43]公开日2004年12月15日[11]公开号CN1554961A

[22]申请日2003.12.25

[21]申请号200310111664.7

[71]申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

[72]发明人余洪斌陈海清竺子民汪超

[74]专利代理机构华中科技大学专利中心代理人朱仁玲

权利要求书1页说明书4页附图5页

[54]发明名称一种硅基可变形反射镜及其制作方法

[57]摘要

本发明公开了一种硅基可变形反射镜及其制作方法。该可变形反射镜包括硅片和玻璃片，硅片由键合区、硅膜及与硅膜下表面连为一体的至少一个硅台柱构成，硅膜的上表面为反射面，在玻璃片上具有引线、压焊点及与硅台柱相对应的驱动电极，玻璃片和硅片由键合区相固定，当给驱动电极施加电压时，产生的静电力驱动硅台柱向下运动，从而带动硅膜发生变形。本发明以微电机系统MEMS技术为基础，它借助半导体工业中一套成熟的加工工艺，如：材料淀积、光刻等进行反射镜的制造，不仅成品率较高，还可像集成电路一样，容易进行大批量生产，从而大大降低单个器件的成本。同时，加工出的可变形反射镜具有体积小、重量轻、高镜面质量和低能耗的性能。

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知识产权出版社出版

200310111664.7权利要求书第1/1页

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1、一种硅基可变形反射镜，其特征在于：包括硅片(1)和玻璃片(2),硅片(1)由键合区(7)、硅膜(3)及与硅膜(3)下表面连为一体的至少一个硅台柱(5)构成，硅膜(3)的上表面为反射面，在玻璃片(2)上具有引线(8)、压焊点(9)及与硅台柱(5)相对应的驱动电极(6),玻璃片(2)和硅片(1)由键合区(7)相固定，当给驱动电极(6)施加电压时，产生的静电力驱动硅台柱(5)向下运动，从而带动硅膜(3)发生变形。

2、一种制作权利要求1所述硅基可变形反射镜的方法，其特征在于：包括

(1)用湿化学方法或干法或湿化学方法和干法同时使用，在硅片(1)上刻出键合区(7)、硅膜(3)及与硅膜(3)连为一体的至少一个硅台柱(5);

(2)用剥离方法在玻璃片(2)上加工出引线(8)、压焊点(9)及与硅台柱(5)相对应的驱动电极(6);

(3)采用阳极键合或者用导电环氧树脂将硅片(1)与玻璃片(2)粘结在一起。

200310111664.7说明书第1/4页

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一种硅基可变形反射镜及其制作方法

技术领域

本发明涉及一种反射镜及其制作方法，特别是涉及一种可变形反射镜及其制作方法。

背景技术

目前，可变形反射镜大都采用的是压电驱动方式，即通过施加电压，引起材料膨胀或收缩，从而带动镜面变形。其缺点在于：①系统体积庞大；②驱动电压大(上千伏),且变形量小；③单个驱动单元造价昂贵；④由于压电材料的性质决定了整个系统的响应速度较慢，因而其应用大多数只限于地面大型天文望远镜的自适应光学系统中。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足之处，提供一种硅基可变形反射镜及其制作方法，该反射镜体积小、重量轻、能耗低且成本低廉，能满足自适应光学系统日益小型化的要求。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种硅基可变形反射镜包括硅片和玻璃片，硅片由键合区、硅膜及与硅膜下表面连为一体的至少一个硅台柱构成，硅膜的上表面为反射面，在玻璃片上具有引线、压焊点及与硅台柱相对应的驱动电极，玻璃片和硅片由键合区相固定，当给驱动电极施加电压时，产生的静电力驱动硅台柱向下运动，从而带动硅膜发生变形。

一种制作硅基可变形反射镜的方法，包括：

(1)用湿化学方法或干法或湿化学方法和干法同时使用，在硅片上刻出硅膜及与硅膜连为一体的至少一个硅台柱；

(2)用剥离方法在玻璃片上加工出引线、压焊点及与硅台柱相对应的驱动电极；

(3)采用阳极键合或者用导电环氧树脂将硅片与玻璃片粘结在一起。

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