CN1623887A 一种薄膜微桥结构及其制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200410061385.9

[51]Int.Cl?

B81B7/00

B81C1/00G01J5/20

[43]公开日2005年6月8日[11]公开号CN1623887A

[22]申请日2004.12.17

[21]申请号200410061385.9

[71]申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

[72]发明人黄光王宏臣陈四海何少伟

付小朝易新建马宏

[74]专利代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青

权利要求书1页说明书5页附图2页

[54]发明名称一种薄膜微桥结构及其制作方法

[57]摘要

本发明公开了一种薄膜微桥结构及其制作方法。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。其步骤包括：在衬底表面旋涂光敏聚酰亚胺薄膜，再进行光刻处理，形成孤岛和桥墩孔，再进行亚胺化处理；用金属填充桥墩孔；再在孤岛和金属桥墩上依次沉积氧化硅和氮化硅薄膜，形成复合薄膜层；在复合薄膜层上光刻出微桥结构图形，刻蚀至聚酰亚胺薄膜层，形成桥面和桥腿图形，并去除桥面和桥腿图形底部的聚酰亚胺薄膜，形成微桥结构。本发明解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题，并获得了具有较低应力的复合薄膜。

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4724-8001NSSI

知识产权出版社出版

200410061385.9权利要求书第1/1页

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1、一种薄膜微桥结构，其特征在于：桥腿(2、3)与桥面(1)采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿(2、3)的一端与桥面(1)相连，另一端架在金属桥墩(4、5)上，桥面(1)由桥腿(2、3)和桥墩(4、5)支撑悬浮在衬底(7)上，桥面(1)与衬底(7)之间构成空腔(6)。

2、一种权利要求1所述薄膜微桥结构的制作方法，其步骤包括：

①、清洗衬底表面，并进行表面活化；

②、在衬底表面旋涂一层1-5μm厚的光敏聚酰亚胺薄膜；

③、对聚酰亚胺薄膜进行光刻处理，形成聚酰亚胺薄膜孤岛和桥墩孔，再进行亚胺化处理；

④、用金属填充桥墩孔；

⑤、在聚酰亚胺薄膜孤岛和金属桥墩上依次沉积氧化硅和氮化硅薄膜，形成复合薄膜层，氧化硅厚度为0.1-1μm,氮化硅厚度0.1-1μm;

⑥、在上述复合薄膜层上光刻出微桥结构图形，刻蚀该复合薄膜层至聚酰亚胺薄膜层，形成桥面和桥腿图形，并用氧等离子体去除桥面和桥腿图形底部的聚酰亚胺薄膜，形成微桥结构。

200410061385.9说明书第1/5页

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一种薄膜微桥结构及其制作方法

技术领域

本发明属于微机电系统技术领域，具体涉及一种薄膜微桥结构及其制作方法。

背景技术

自1800年英国物理学家赫胥尔发现了红外线以后，由于红外线具有能穿透黑夜、厚云和浓烟等进行探测和成像的特殊本领，红外探测就成为科研工作者的一个重要研究内容。红外探测器分为两类：光子探测器和热探测器。光子探测器具有很高的灵敏度，但是需要在体积和功耗都相对较大的制冷器协助下才能正常工作。而热探测器可以在室温下正常工作，无需制冷器协助，与光子型红外探测器相比，具有体积小、重量轻、价格低和操作简单等很多优点，可用于诸多非苛刻灵敏度要求下的军事领域和公安消防、汽车夜视、防盗保安和医学诊断等民用领域，具有广泛的应用前景和市场前景。

微测辐射热计是通过测量集成于探测器之上的热敏电阻的变化来反应入射红外辐射的大小的。探测器的温升是与探测器与衬底间的热阻成正比的。由于红外辐射的能量很小，为了获得较大的探测信号，提高探测器信噪比，常利用微桥结构实现探测器与衬底间的高热阻。美国Honeywell研究中心经过多年研究后，在二十世纪90年代报道了他们开发出的多种型号的非致冷微测辐射热计，其中噪声等效温差在8-12μm波段达到0.039℃,可以实现中波和长波红外成像(Wood,R.A.,High-performanceInfraredThermalImagingwithmonolithicsiliconFocalp