CN101156228A 一种制作纳米间隙和纳米间隙传感器的方法 （韩国生命工学研究院）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局[51]Int.Cl.

HO1L21/302(2006.01)

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200680011497.0

[43]公开日2008年4月2日[11]公开号CN101156228A

[22]申请日2006.9.5

[21]申请号200680011497.0

[30]优先权

[32]2005.10.21[33]KR[31]10-2005-0099585

[32]2006.8.2[33]KR[31]10-2006-0072981

[86]国际申请PCT/KR2006/0035172006.9.5

[87]国际公布WO2007/046582英2007.4.26

[85]进入国家阶段日期2007.10.9

[71]申请人韩国生命工学研究院地址韩国大田广域市

[72]发明人郑凤铉金常圭朴惠贞

[74]专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人郑小粤

权利要求书3页说明书12页附图7页

[54]发明名称

一种制作纳米间隙和纳米间隙传感器的方法

[57]摘要

本发明涉及一种制作纳米