CN101598819A 镀膜镜片及其制作方法 （鸿富锦精密工业（深圳）有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200810301981.8

[51]Int.Cl.

G02B1/10(2006.01)

C23C14/24(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

C03B33/04(2006.01)

[43]公开日2009年12月9日[11]公开号CN101598819A

[22]申请日2008.6.4

[21]申请号200810301981.8

[71]申请人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油

松第十工业区东环二路2号

共同申请人鸿海精密工业股份有限公司

[72]发明人袁岷益

权利要求书1页说明书4页附图5页

[54]发明名称

镀膜镜片及其制作方法

[57]摘要

本发明涉及一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤：提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；对该基底的第一表面进行光学镀膜；沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片的光学成像区域；切割该基底以得到多个镀膜镜片。另外，本发明还涉及一种镀膜镜片，其包括一个基底，该基底包括相对的一个第一侧及一个第二侧，该第一侧上形成一个光学膜层，该基底由第二侧向内蚀刻形成镀膜镜片的光学成像区域。

200810301981.8权利要求书第1/1页

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【权利要求1】一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤：

提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；

对该基底的第一表面进行光学镀膜；

沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片的光学成像区域；

切割该基底以得到多个镀膜镜片。

【权利要求2】如权利要求1所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，该基底的材料为玻璃。

【权利要求3】如权利要求1所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，对基底的第一表面进行光学镀膜采用蒸镀或溅镀的方法。

【权利要求4】如权利要求1所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，切割该

基底时使用晶圆切割机进行作业。

【权利要求5】如权利要求1所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，沿基底的第二表面对基底进行多次蚀刻分别采用光蚀刻技术。

【权利要求6】如权利要求5所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，每次蚀

刻包括以下步骤：沿基底的第二表面涂布光阻层；对光阻层进行曝光显影；利用处理液将基底的第二表面上未显影的区域腐蚀去除。

【权利要求7】如权利要求6所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，将基底的第二表面上未显影的区域腐蚀去除使用的处理液为氢氟酸。

【权利要求8】如权利要求1所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，对该基

底的第一表面进行光学镀膜时镀上的是红外截止膜。

【权利要求9】一种镀膜镜片，其包括：一个基底，该基底包括相对的一个第一侧及一个第二侧，该第一侧上形成一个光学膜层，该基底由第二侧向内蚀刻形成镀膜镜片的光学成像区域。

200810301981.8说明书第1/4页

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镀膜镜片及其制作方法

技术领域

本发明涉及一种镀膜镜片，以及一种制作该镀膜镜片的方法。

背景技术

光学镜片作为相机模组，如数码相机、镜头模组中的成像元件，在摄像领域发挥着不可或缺的作用。

目前，制作光学镜片通常采用射出成型法进行批量生产，即使用射出成型机加热塑料，使得塑料熔融后注射进多个模仁所形成的模腔中，经冷却后即可一次成型出多个光学镜片。

具体请参阅Yang等人在2006IEEE系统、机械与自动化国际会议(International

ConferenceonMechatronicsandAutomation)上发表的题为FabricationofDiffractiveOpticalLensforBeamsplittingUsingLIGAProcess的论文。

利用上述射出成型法制造光学镜片虽然具有较高的生产率，可以一次性批量制造出多个光学镜片，但随着摄像技术的发展，其越来越难以满足人们对高精密摄像器材的要求。且采用射出成型法来制造光学镜片，其所配置的模仁只能用来生产某一型号大小的光学镜片，当需要生产其它型号大小的光学镜片时，相关的生产设备，如模仁等需要被更换。

另外，对于