CN108326416A 一种透明导电薄膜上的图案制作装置和方法 （陕西师范大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108326416A

(43)申请公布日2018.07.27

(21)申请号201810138584.7B23K26/70(2014.01)

(22)申请日2018.02.10

(71)申请人陕西师范大学

地址710062陕西省西安市长安南路199号

申请人陕西煤业化工技术研究院有限责任

公司

(72)发明人刘生忠常远程肖锋伟朱小宁

冯江山吴强朱学杰杨钊

李云虎邓增社

(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任

公司61200代理人徐文权

(51)Int.CI.

B23K26/082(2014.01)

B23K26/362(2014.01)

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

一种透明导电薄膜上的图案制作装置和方法

(57)摘要

CN108326416A本发明提供一种透明导电薄膜上的图案制作装置和方法，方法是根据设计图案设定的激光划刻的激光束波长、功率和光斑尺寸，通过扫描振镜控制激光束按照设计图案的路线运动，在固定的柔性基底或刚性基底的透明导电薄膜上划刻设计图案。装置包括用于作为激光源的激光器，依次设置在激光器发射光路上的扩束器、透镜和扫描振镜，扫描振镜的输出端竖直向下照射在待划刻薄膜样品上；扫描振镜用于对射出的激光进行调节，划刻待划刻薄膜样品上图案。本发明利用透明导电薄膜对特定波长的激光有极强吸收，同时基底材料几乎不吸收该特定波长激光

CN108326416A

CN108326416A权利要求书1/1页

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1.一种透明导电薄膜上的图案制作方法，其特征在于，根据设计图案设定的激光划刻的激光束波长、功率和光斑尺寸，通过扫描振镜控制激光束按照设计图案的路线运动，在固定的柔性基底或刚性基底的透明导电薄膜上划刻设计图案。

2.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜上的图案制作方法，其特征在于，所述的激光束波长为300～2000纳米。

3.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜上的图案制作方法，其特征在于，所述的透明导电薄膜通过吸收激光划刻的激光束进行烧蚀后形成刻画图案，柔性基底或刚性基底不吸收激光划刻的激光束。

4.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜上的图案制作方法，其特征在于，透明导电薄膜是掺杂的氧化铟、掺杂的氧化锡和掺杂的氧化锌的一种或多种的混合物，采用热蒸发、电子束蒸发、真空溅射、化学气相沉积或喷涂的方式制备得到。

5.根据权利要求1或4所述的一种透明导电薄膜上的图案制作方法，其特征在于，透明导电薄膜呈叠层设置形成叠层薄膜。

6.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜上的图案制作方法，其特征在于，所述柔性基底采用PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯或其他有机材料中的至少一种制成。

7.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜上的图案制作方法，其特征在于，所述刚性基底采用玻璃。

8.一种透明导电薄膜上的图案制作装置，其特征在于，包括用于作为激光源的激光器

(1),依次设置在激光器(1)发射光路上的扩束器(2)、透镜(4)和扫描振镜(5),扫描振镜(5)的输出端竖直向下照射在待划刻薄膜样品(7)上；扫描振镜(5)用于对射出的激光进行调节，划刻待划刻薄膜样品(7)上图案。

9.根据权利要求8所述的一种透明导电薄膜上的图案制作装置，其特征在于，扩束器(2)和透镜(4)之间的光路上设置有用于光路调整的反射镜组。

10.根据权利要求9所述的一种透明导电薄膜上的图案制作装置，其特征在于，反射镜组包括在竖直方向上相对设置的第一反射镜(3)和第二反射镜(4),第一反射镜(3)的入射光线和第二反射镜(4)的出射光线平行。

CN108326416A说明书1/3页

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一种透明导电薄膜上的图案制作装置和方法

技术领域

[0001]本发明涉及材料技术领域，具体为一种透明导电薄膜上的图案制作装置和方法。

背景技术

[0002]随着信息技术和光电产品的飞跃发展，透明导电材料越来越受到人们的重视与关注，在许多领域具有广阔的应用前景，如光伏电池和显示