CN108195483A 一种实现温度和应变测量的光纤fp传感器制作方法 （北京信息科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108195483A

(43)申请公布日2018.06.22

(21)申请号201711430003.9

(22)申请日2017.12.26

(71)申请人北京信息科技大学

地址100085北京市海淀区清河小营东路

12号北京信息科技大学光电学院

(72)发明人祝连庆李达董明利娄小平张雯何巍李红

(74)专利代理机构北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

11416

代理人顾珊庞立岩

(51)Int.CI.

G01K11/32(2006.01)

G01B11/16(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图4页

(54)发明名称

一种实现温度和应变测量的光纤F-P传感器制作方法

(57)摘要

CN108195483A本发明提供一种实现温度和应变测量的光纤F-P传感器制作方法包括：在高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI-1060光纤固定在光纤夹具上；800nm飞秒激光器以划线的方式发射飞秒激光，所述飞秒激光依次穿过所述半波片、偏振片、衰减片和窗口，经所述高反镜反射后由45倍的显微镜聚焦至所述光纤夹具上的HI-1060光纤，对所述HI-1060光纤划线刻写；在所述高反镜正上方布置电荷耦合器件，所述电荷耦合器观测激光的聚焦位置和激光对所述夹具上HI-1060光纤的加工形貌。本发明制作的光纤F-P

CN108195483A

CN108195483A权利要求书1/1页

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1.一种实现温度和应变测量的光纤F-P传感器制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI-1060光纤固定在所述光纤夹具上；

在所述光纤夹具正上方布置高反镜，在所述高反镜前端依次布置800nm飞秒激光器、半波片、偏振片、衰减片和用于激光穿过的窗口，所述800nm飞秒激光器以划线的方式发射飞秒激光，所述飞秒激光依次穿过所述半波片、偏振片、衰减片和窗口，经所述高反镜反射后由45倍的显微物镜聚焦至所述光纤夹具上的HI-1060光纤，对所述HI-1060光纤划线刻写，得到刻写长度为25μm,腔长为80μm的光纤F-P传感器；

在所述高反镜正上方布置电荷耦合器件，所述电荷耦合器观测激光的聚焦位置和激光对所述夹具上HI-1060光纤的加工形貌。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述HI-1060光纤介于测试宽带光源与测试光谱分析仪之间，所述HI-1060光纤一端连接所述测试宽带光源，另一端连接所述测试光谱分析仪，所述测试光谱分析仪实时观测所述测试宽带光源发射的测试激光的反射光谱。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述HI-1060光纤通过环形器连接测试宽带光源和测试光谱分析仪，所述测试光谱分析仪实时观测所述测试宽带光源发射的测试激光的反射光谱。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述测试宽带光源发射的测试激光的波长范围为1530nm～1600nm。

5.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述测试光谱分析仪的工作波长范围为1200nm～2400nm,最小分辨精度为0.05nm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述HI-1060光纤刻写过程中，控制所述高精度三维运动平台的移动和所述窗口的闭合/开启，制作不同腔长的光纤F-P传感器。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述显微物镜的放大倍数为45倍，数值孔径为0.75。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述光纤夹具的上方和下方分别安装LED照明设备。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述800nm飞秒激光器发射的飞秒激光的单脉冲能量为5μJ,加工速度为80um/s,刻写长度为40μm。

CN108195483A说明书1/6页

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一种实现温度和应变测量的光纤F-P传感器制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及光纤传感器技术领域，特别涉及一种实现温度和应变测量的光纤F-P传感器制作方法。

背景技术

[0002]近年来，光纤传感器由于具有质量轻、体积