CN101813628B 一种集成紫外生物芯片传感器的制作方法 （长春理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101813628B

(45)授权公告日2012.07.25

(21)申请号201010141645.9

(22)申请日2010.04.08

(73)专利权人长春理工大学

地址130022吉林省长春市朝阳区卫星路

7186号长春理工大学重点实验室

(72)发明人曲轶赵强杨旭李辉张斯钰

赵博刘国军薄报学

(51)Int.CI.

GO1N21/64(2006.01)

HO1L21/77(2006.01)

HO1L33/00(2010.01)

(56)对比文件

WOA2,2002.11.07,全文.

CN101441177A,2009.05.27,全文.

US2008265177A1,2008.10.30,全文.CN101101970A,2008.01.09,全文.

姜代武等.Tb3+掺杂硅酸盐闪烁玻璃发光特性.《发光学报》.2009,第30卷(第3期),363-367.

刘国军等.高功率半导体激光器技术发展与研究.《红外与激光工程》.2007,第36卷4-6.

审查员冯志华

权利要求书1页说明书2页附图1页

(54)发明名称

一种集成紫外生物芯片传感器的制作方法