CN101832832B 光纤法布里珀罗压力传感器及其制作方法 （天津大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101832832B

(45)授权公告日2012.02.22

(21)申请号201010185466.5

(22)申请日2010.05.28

(73)专利权人天津大学

地址300072天津市南开区卫津路92号

(72)发明人江俊峰刘铁根刘琨姜丽娟刘宇

(74)专利代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司12002

代理人侯力

(51)Int.CI.

GO1L1/24(2006.01)

审查员邵文

权利要求书2页说明书4页附图2页

(54)发明名称

光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

(57)摘要

CN101832832B一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。传感器可以用于检测液体、气体的相对压力和绝对压力，也可用于探测声波，超声波信号等。本结构主要由光纤、弹性膜片、传感器体三部分组成。可以采用两种方式来形成法珀腔。弹性膜片直接与光纤连接，光纤插入传感器体上的孔中，当外界压力变化致使弹性膜片变形时，光纤就会在传感器体中做轴向移动，从而改变了光纤法珀腔的长度，当接入宽带光源后，通过对通过光纤法布里-珀罗压力传感器中的光的光谱扫描或者低相干干涉条纹的提取，可提取出腔长变化，从而获取压力信息。本结构可以避免传统光纤法布里-珀罗传感器膜片变形不能过大的缺陷，可得到更高

CN101832832B

CN101832832B权利要求书1/2页

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1.一种光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于该传感器包括如下三部分：

传感器体：传感器体基于外径为1mm～5mm,长度为5～15mm的圆柱或长方柱制作，为整体式结构，以实现对传感器的支撑作用以及光纤滑动时的引导作用，并且两端相对位置各开有一个盲孔，其中一个盲孔的外端开有一个凹坑形成阶梯孔，凹坑直径为0.6~4.5mm;

弹性膜片：弹性膜片由激光切割而成，用来感受压力变化，膜片厚度根据压力测量范围为10μm～300μm,膜片的一侧粘接有一段光纤，该光纤的端面作为法布里-珀罗腔所需的反射面，粘接有光纤的弹性膜片置入传感器体一端的凹坑中并固定，光纤的端面与盲孔孔底面不接触构成法布里-珀罗腔；

传输光纤：放置于传感器体另一端的盲孔中并固定，该传输光纤端面与盲孔孔底面紧密接触。

2.一种光纤法布里一珀罗压力传感器，其特征在于该传感器包括如下三部分：

传感器体：传感器体基于外径为1mm～5mm,长度为5～15mm的圆柱或长方柱制作，为整体式结构，以实现对传感器的支撑作用以及光纤滑动时的引导作用，传感器体中间开有一个贯通孔，贯通孔的一端开有一个凹坑形成阶梯孔，凹坑直径为0.6～4.5mm;

弹性膜片：弹性膜片由激光切割而成，用来感受压力变化，膜片厚度根据压力测量范围为10μm～300μm,膜片的一侧粘接有一段光纤，该光纤的端面作为法布里-珀罗腔所需的反射面，粘接有光纤的弹性膜片置入传感器体一端的凹坑中并固定；

传输光纤：从传感器体另一端放置于贯通孔中并固定，该传输光纤端面与弹性膜片上粘接的光纤的端面之间不接触以构成法布里-珀罗腔。

3.根据权利要求1或2所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于所述的弹性膜片的材料为单晶硅片，石英薄片，聚合物薄片或金属膜片；弹性膜片的两面制作有微小条纹，以破坏掉该面的反射。

4.根据权利要求1或2所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于所述的传感器体的材料为Pyrex玻璃或熔融石英材料。

5.根据权利要求1或2所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于所述的传输光纤和弹性膜片上粘接的光纤为单模光纤或多模光纤，光纤端面可以是切割后直接使用，也可以镀上反射膜。

6.一种权利要求1所述的光纤法布里-珀罗压力传感器的制作方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

第1、弹性膜片制作：利用激光切割出所需大小的硅膜片，并用激光在硅膜片两面制作微小条纹，以破坏掉该面的反射，膜片厚度根据压力测量范围，为10μm～300μm;

第2、利用光纤切割刀切割光纤获得好的光纤端面，然后用笔式切割刀在显微镜下切取光纤至所需长度，将该小段光纤利用环氧树脂胶垂直固定在弹性膜片上；

第3、传感器体的制作：利用Pyrex玻璃或熔融石英材料制作传感器体，首先将传感器体制成外径为1mm～5mm、长度为5～15mm的圆柱体