CN101871904B 气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法 （鸿富锦精密工业（深圳）有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101871904B

(45)授权公告日2013.06.05

(21)申请号200910301837.9

(22)申请日2009.04.25

(73)专利权人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油

松第十工业区东环二路2号

专利权人鸿海精密工业股份有限公司

(72)发明人裴绍凯

(51)Int.CI.

GO1N27/00(2006.01)

GO1R23/02(2006.01)

台湾科技大学学位论文全文系统》.2005,摘要、第30-36,43页、图3-3,3-.

审查员杨敏

(56)对比文件

JP特开2004-101266A,2004.04.02,全文.

CN101017127A,2007.08.15,全文.

CN101109725A,2008.01.23,全文.

CN101398399A,2009.04.01,全文.

赵子维.以化学气相沉积法合成氧化铱/氧

化钌奈米杆薄膜之气体感测特性之研究.《国立权利要求书2页说明书5页附图6页

(54)发明名称

气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法

(57)摘要

CN101871904B本发明涉及一种气体检测装置，其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及吸附层，所述石英板具有相对的第一表面和第二表面，所述第一电极形成于第一表面，所述第二电极形成于第二表面，所述第一活化层形成于第一电极表面，所述第一活化层形的材料为氧化铜，用于活化所述吸附层。所述吸附层形成于第一活化层表面，所述吸附层由铱-二氧化铱纳米棒组成，所述吸附

CN101871904B

100

100

121

1211

150

-140

130

110

1221

122

1222

1212

112

CN101871904B权利要求书1/2页

2

1.一种气体检测装置，其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及第一吸附层，所述石英板具有相对的第一表面和第二表面，所述第一电极形成于第一表面，所述第二电极形成于第二表面，所述第一活化层形成于第一电极表面，所述第一活化层的材料为氧化铜，用于活化第一吸附层，所述第一吸附层形成于第一活化层表面，所述第一吸附层由铱-二氧化铱纳米棒组成，用于吸附待检测气体，以使气体检测装置的质量发生变化，从而获得待检测气体的浓度。

2.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述气体检测装置进一步包括第三活化层和第二吸附层，所述第三活化层形成于第二电极的表面，第二吸附层形成于第三活化层表面。

3.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述第一吸附层的表面还形成有第二活化层，所述第二活化层用于增强第一吸附层的吸附活性。

4.如权利要求3所述的气体检测装置，其特征在于，所述第二活化层的材料为氧化铜。

5.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述第一吸附层的厚度为100纳米至2微米。

6.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述第一吸附层的厚度为400纳米至600纳米。

7.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述第一活化层的厚度为10纳米至20纳米。

8.一种气体检测系统，包括：

如权利要求1至7任一项所述的气体检测装置，其用于吸附待检测气体，以使气体检测装置的质量发生变化，从而使其振荡频率发生变化；

检测室，其用于放置气体检测装置，并用于通入待检测气体，以使得气体检测装置吸附待检测气体；

频率检测装置，其连接于所述气体检测装置的第一电极与第二电极，用于检测气体检测装置的振荡频率，以根据气体检测装置的振荡频率的变化获得待检测气体的浓度。

9.如权利要求8所述的气体检测系统，其特征在于，所述检测室内还设置有加热板，用于加热液体以产生待检测气体。

10.如权利要求8所述的气体检测系统，其特征在于，所述检测室的外围设置有保温层，用于防止待检测气体冷凝。

11.如权利要求8所述的气体检测系统，其特征在于，所述气体检测系统还包括与频率检测装置相连接的处理器，用于根据气体检测装置的振荡频率的变化计算获得待检测气体的浓度。

12.一种气体检测装置的制作方法，包括：

提供一个石英板，所述石英板具有相对的第一表面和第二表面；在所述石英板的第一表面形成第一电极，在石英板的