CN107933052A 级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法 （北京亮亮视野科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107933052A

(43)申请公布日2018.04.20

(21)申请号201711144588.8

(22)申请日2017.11.17

(71)申请人北京亮亮视野科技有限公司

地址100026北京市海淀区中关村东路18

号1号楼3层C-307-031

(72)发明人李勇吴斐郑臻荣

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127

代理人贾磊郭晓宇

(51)Int.CI.

B32B37/10(2006.01)

B32B37/12(2006.01)

B32B38/00(2006.01)

B32B38/04(2006.01)

B32B38/16(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图3页

(54)发明名称

级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法

(57)摘要

CN107933052A本发明提出了一种级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法，其中级联薄膜基片粘结体制作工装，包括：工装主体、压力调整机构；工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，级联薄膜基片之间涂有粘结剂；压力调整机构，用于调整多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的多个层叠的基片压制成级联薄膜基片粘结体。所加工得到的级联薄膜光学器件的波前畸变小，可以适用于各种通信、测量等高精密光学系统，且提高了透过光束能量阈值，减小在高能激光应用中出现炸裂的可

CN107933052A

CN107933052A权利要求书1/2页

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1.一种级联薄膜基片粘结体制作工装，用于制作级联薄膜基片粘结体，所述级联薄膜基片粘结体用于制作级联薄膜光学器件，其特征在于，包括：工装主体、压力调整机构；

所述工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，所述级联薄膜基片之间涂有粘结剂；

所述压力调整机构，用于调整所述多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的所述多个层叠的基片压制成级联薄膜基片粘结体。

2.根据权利要求1所述的级联薄膜基片粘结体制作工装，其特征在于，所述压力调整机构包括：工装框架及多个调整螺钉、固定旋钮、压块；

所述多个调整螺钉螺纹连接于所述工装框架，所述工装框架滑动套设于所述工装主体内腔；

每个所述固定旋钮套设于每个对应所述调整螺钉上，用于切换所述调整螺钉处于半锁紧状态或锁死状态；

每个所述调整螺钉的下端对应连接有所述压块，多个所述压块用于向所述多个层叠的级联薄膜基片施加压力，调整压力分布。

3.一种光学器件制作方法，用于制造级联薄膜光学器件，其特征在于，包括：

在多个基片上镀膜制作多个级联薄膜基片；

使用如权利要求1至2中任一项所述的级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体；

将所述级联薄膜基片粘结体磨切成级联薄膜光学器件，所述级联薄膜光学器件包括：级联薄膜光波导、级联薄膜棱镜、级联薄膜透镜。

4.根据权利要求3所述的光学器件制作方法，其特征在于，所述使用如权利要求1至2中任一项所述的级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体，包括：

将多个所述级联薄膜基片的表面涂覆粘结剂，并将所述级联薄膜基片依次层叠于所述级联薄膜基片粘结体制作工装的工装主体内；

通过自准直仪获取所述级联薄膜基片粘结体的级联薄膜的反射像、反射光圈；

根据所述反射像、反射光圈，调整所述压力调整机构施加于所述级联薄膜基片的力的分布，使反射光圈为同心圆状、反射像间距小于1。

5.根据权利要求3所述的光学器件制作方法，其特征在于，所述在多个基片上镀膜制作多个级联薄膜基片的步骤之后，所述使用如权利要求1至2中任一项所述的级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体的步骤之前，还包括：

使用离子束清洁所述多个级联薄膜基片。

6.根据权利要求3所述的光学器件制作方法，其特征在于，所述将所述级联薄膜基片粘结体磨切成级联薄膜光学器件的步骤之后，还包括：

当所述级联薄膜光学器件为级联薄膜光波导时，使用激光数字干涉仪通过透射波前测试、反射波前测试，检测所述级联薄膜光波导的上下表面的平面度、平行度以及胶层内部的均匀性。

7.根据权利要求3所述的光学器件制作方法，其特征在于，所述在多个基片上镀膜制作多个级联薄膜基片步骤中，每个所述级联薄膜基片的镀膜包括：