CN105203019B 一种柔性有源压力应变传感器结构及其制作方法 （上海集成电路研发中心有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105203019B公告日2018.05.29

(21)申请号201510678839.5

(22)申请日2015.10.19

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105203019A

(43)申请公布日2015.12.30

(73)专利权人上海集成电路研发中心有限公司地址201210上海市浦东新区上海浦东张

江高斯路497号

(72)发明人胡少坚陈寿面郭奥

(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275

代理人吴世华尹英

(51)Int.CI.

G01B7/16(2006.01)

GO1L1/16(2006.01)

HO1L51/05(2006.01)

HO1L51/30(2006.01)

HO1L51/40(2006.01)

(56)对比文件

CN104613861A,2015.05.13,

CN104617090A,2015.05.13,

US6276214B1,2001.08.21,

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