CN105174197B 一种mems结构及其制作方法 （无锡微奥科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105174197B公告日2016.12.07

(21)申请号201510330771.1

(22)申请日2015.06.15

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105174197A

(43)申请公布日2015.12.23

(73)专利权人无锡微奥科技有限公司

地址214028江苏省无锡市无锡新区菱湖

大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室

(51)Int.CI.

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)审查员郭研岐

(72)发明人程进陈巧丁金玲徐乃涛孙其梁谢会开

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200

代理人王美章

权利要求书1页说明书7页附图7页

(54)发明名称

一种MEMS结构及其制作方法

(57)摘要

CN105174197B本发明属于微机械系统领域，涉及一种MEMS结构及其制作方法，结构包括衬底、可控变形部件、被悬挂部件，其中，被悬挂部件通过至少一个可控变形部件与衬底连接，还包括设置在所述被悬挂部件上的第一连接部以及设置在所述衬底上的第二连接部。一种所述MEMS结构的制作方法，所述可控变形部件为两种或两种以上不同膨胀系数材料叠放而成的薄膜结构，通过外部对整个MEMS结构加热或制冷来控制可控变形部件的变形，从而改变被悬挂部件的悬挂高度或角度；当被悬挂部件的悬挂高度或角度达到设定要求后，通过粘结材料将被悬挂部件上第一连接部与衬底上的第二连接部连接固定。本发明方法实现

CN105174197B

CN105174197B权利要求书1/1页

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1.一种MEMS结构，其特征在于，包括衬底(1)、可控变形部件(3)、被悬挂部件(4),其中，被悬挂部件(4)通过至少一个可控变形部件(3)与衬底(1)连接，还包括设置在所述被悬挂部件(4)上的第一连接部(7)以及设置在所述衬底(1)上的第二连接部(8),所述可控变形部件(3)为两种或两种以上不同膨胀系数材料叠放而成的结构；通过对整个MEMS结构加热或制冷来控制可控变形部件(3)的变形，从而改变被悬挂部件(4)的悬挂高度或角度；被悬挂部件(4)的悬挂高度或角度达到设定要求后，通过粘结材料(6)将被悬挂部件(4)上第一连接部(7)与衬底(1)上的第二连接部(8)连接固定。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS结构，其特征在于，所述被悬挂部件(4)为镜面结构、梳齿结构或质量块结构中的一种。

3.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述可控变形部件(3)为两个，两个所述可控变形部件(3)对称设置在所述被悬挂部件(4)的两侧。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS结构，其特征在于，所述衬底(1)材料为单晶硅、多晶硅、碳化硅或玻璃材料。

5.根据权利要求1～4中任一所述MEMS结构，其特征在于，所述被悬挂部件(4)上设有磁性材料层或线圈形状的金属薄膜层，所述衬底(1)的底部设有磁性驱动器；通过磁性驱动器实现被悬挂部件(4)的高度调节。

6.一种如权利要求1~4中任一所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，包括以下几个步骤：

步骤一、所述可控变形部件(3)为两种或两种以上不同膨胀系数材料叠放而成的结构；通过对整个MEMS结构加热或制冷来控制可控变形部件(3)的变形，从而改变被悬挂部件(4)的悬挂高度或角度；

步骤二、当步骤一中被悬挂部件(4)的悬挂高度或角度达到设定要求后，通过粘结材料

(6)将被悬挂部件(4)上第一连接部(7)与衬底(1)上的第二连接部(8)连接固定。

7.根据权利要求6所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，所述粘结材料(6)为高分子胶、无机胶、银浆、金属薄膜、非金属薄膜中的任意一种。

8.根据权利要求7所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，通过点胶、喷胶、薄膜生长工艺或者丝网印刷工艺对第一连接部(7)和第二连接部(8)部位进行粘接固定。

9.根据权利要求8所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，所述可控变形部件(3)上内嵌有电阻加热层，所述衬底(1)上连接有电引线(5),所述电阻加热层与所述电引线(5)连接；通过对加热引线(5)进行通电，实现对可控变形部件(3)进行微调。

10.根据权利要求9所述MEMS结构