CN105655399A 半导体装置及其制作方法 （青岛金智高新技术有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN105655399A布日2016.06.08

(21)申请号201510828056.0

(22)申请日2015.11.24

(71)申请人青岛金智高新技术有限公司

地址266000山东省青岛市市北区山东路

109号璟台3号楼3102

(72)发明人不公告发明人

(74)专利代理机构青岛申达知识产权代理有限公司37243

代理人蒋遥明

(51)Int.CI.

HO1L29/78(2006.01)

HO1L21/336(2006.01)

权利要求书1页说明书2页附图1页

(54)发明名称

半导体装置及其制作方法

(57)摘要

CN105655399A本发明公开一种半导体装置及其制作方法。半导体装置包括鳍状突起结构、绝缘结构、栅极结构、以及外延结构。鳍状突起结构延伸出基板的表面且具有一顶面以及二侧面。绝缘结构环绕鳍状突出结构。栅极结构包覆部分鳍状突起结构的顶面以及二侧面，以及覆盖部分绝缘结构。其中位于栅极结构下方的绝缘结构具有一第一顶面，位于栅极结构两侧的绝缘结构具有一第二顶面，且第

CN105655399A

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