CN103376485A 一种采用镀膜技术制作光栅的方法 （福州高意光学有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103376485A

(43)申请公布日2013.10.30

(21)申请号201210105947.X

(22)申请日2012.04.12

(71)申请人福州高意光学有限公司

地址350001福建省福州市晋安区福新东路

253号中航技工业小区

(72)发明人林磊黄富泉周孝莲代会娜李广伟张新汉

(74)专利代理机构福建炼海律师事务所35215代理人许育辉

(51)Int.CI.

GO2B5/18(2006.01)

GO2B1/10(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

一种采用镀膜技术制作光栅的方法

(57)摘要

CN103376485A本发明涉及光栅制作技术领域，公开了一种采用镀膜技术制作光栅的方法，以现有光栅作为基底光栅，然后通过镀膜沉积技术在基底光栅上进行镀膜；镀膜过程中，通过控制膜料沉积方向与基底光栅之间的角度在基底光栅的光栅面上形成各种光栅槽结构的介质膜层。本发明通过控制膜料沉积方向与基底光栅之间的角度在基底光栅的光栅面上形成各种光栅槽结构的介质膜层，避免了一些硬质膜系材料的刻蚀，同时可以实现光栅膜层结构的精确控制，提供更多膜层结构的可选方案，便于光栅膜层结构的设计、调整光栅占空

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