CN103441154B 一种ZnO纳米阵列紫外探测器及其制作方法 （北京科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN103441154B

(45)授权公告日2015.08.12

(21)申请号201310259647.1

(22)申请日2013.06.26

(73)专利权人北京科技大学

地址100083北京市海淀区学院路30号

(72)发明人张跃衣芳廖庆亮黄运华闫小琴

CN102142482A,2011.08.03,全文.

张雯等.ZnO纳米线阵列的籽晶控制生长及其紫外探测性能.《硅酸盐学报》.2010,第38卷(第1期),第12~16页.

审查员贾翠乐

(74)专利代理机构北京金智普华知识产权代理

有限公司11401代理人皋吉甫

(51)Int.CI.

HO1L31/0224(2006.01)

HO1L31/18(2006.01)

HO1L31/09(2006.01)

(56)对比文件

CN102346164A,2012.02.08,全文.

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种Zn0纳米阵列紫外探测器及其制作方法

(57)摘要

CN103441154B本发明一种ZnO纳米阵列紫