CN104190482A 以感光干膜为抗腐蚀掩膜制作玻璃微流体装置的方法 （四川大学）.docxVIP

(12)发明专利申请(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104190482A

(43)申请公布日2014.12.10

(21)申请号201410416124.8

(22)申请日2014.08.21

(71)申请人四川大学

地址610065四川省成都市武侯区一环路南

一段24号

(72)发明人张磊褚良银汪伟谢锐巨晓洁刘壮

(74)专利代理机构成都科海专利事务有限责任公司51202

代理人黄幼陵郭萍

(51)Int.CI.

B01LGO3FC03CCO3C

3/00(2006.01)7/00(2006.01)15/00(2006.01)27/06(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图7页

(54)发明名称

以感光干膜为抗腐蚀掩膜制作玻璃微流体装置的方法

d)显e)

d)显

e)刻蚀及脱膜

f)键合

a)玻璃基板

b)贴膜

C)犀光

CN104190482A本发明属于微流体装置制作领域，提供了一种以感光干膜为抗腐蚀掩膜制作玻璃微流体装置的方法，该方法的步骤如下：(1)制作光刻掩膜，(2)清洗玻璃基板，(3)制作感光玻璃板，