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微电子学资料oxidation.pdfVIP

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  • 2026-03-19 发布于浙江
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微电子学资料oxidation.pdf

    Chapter1:SiliconOxidation

    1.GrowthMechanismKinetics

    ▪Deal-Groovemodel

    2.OxidationRate

    ▪Orientationdependence

    ▪Wetversusdryoxidation

    ▪Dopanteffects

    3.OxideProperties

    ▪Density,Stresseffects

    ▪DopantRe-distribution

    ▪Oxidecharges,Q,Q,Q,Q

    OTITfM

    4.OxidationTechnique

    1

    1.GrowthMechanismandKinetics

    ❑Becauseasiliconsurface

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