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微电子学资料part5 Diffusion.pdfVIP

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  • 2026-03-19 发布于浙江
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微电子学资料part5 Diffusion.pdf

    DiffusioninSilicon

    Sept2006,

    nDrLohWeiYip

    o

    iNUS,IME

    s

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    f

    f

    i

    D

    CourseOutline

    1.Introduction

    •DiffusionProcess

    •BasicModelofDiffusioninSilicon:PointsdefectinSilicon

    2.DiffusionProfile,ModelsandDrive-ins

    •Fick’s1stand2ndlaw

    •IntrinsicandExtrinsicDiffusion

    3.AtmoisticModelsofDiffusion

    •VacancyandInterstitialMechanism

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