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真空度不足处理专项方案

适用于制药、电子、食品、化工等行业由旋片泵、罗茨泵、扩散泵、分子泵等组成的各类真空系统真空度不足故障的排查、处理及预防工作，明确故障诊断流程、核心原因处置、预防体系及应急方案，确保真空系统稳定运行。

一、故障诊断分级与排查流程

（一）故障分级

1.轻度真空度不足：实际真空度低于工艺设定值10%以内，系统可维持基本运行，无明显异常噪声、振动；

2.中度真空度不足：实际真空度低于工艺设定值10%-30%，系统运行噪声、温度略有升高，部分工艺环节无法满足要求；

3.重度真空度不足：实际真空度低于工艺设定值30%以上，或无法建立有效真空，系统伴随异常异响、高温、振动超标等