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三氯氢硅生产操作规程.pdf

三氯氢硅生产操作规程.pdf

    安全操作规程

    一、概述

    1.三氯氢硅的I用途

    三氯氢硅是生产半导体用硅口勺重要中间体，是有机硅行业中硅偶联剂的重要原

    材料。伴随光伏产业的迅猛发展，太阳能电池对多晶硅的需求量大幅增长，三氯

    氢硅是改良西门子法生产多晶硅日勺重要原材料。

    2.三氯氢硅的生产机理

    干燥的硅粉和干燥的氯化氢气体在320℃、0.IMpa左右的工艺条件下，

    在三氯氢硅合成炉内以流化的形式反应生成三氯氢硅，其化学反应方程式如

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