洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求.pdfVIP

洁净室及相关受控环境

微振动控制技术要求

1范围

本文件规定了洁净室及相关受控环境的振源、危害及影响、微振动控制、检测和监测、作业等要求。

本文件适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微振动microvibration

影响精密设备或仪器正常工作的微米级及以下幅值振动。

影响精密设备及仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。（GB51076）

3.2

微振动控制microvibrationcontrol

为保证精密设备或仪器正常工作所采取的降低环境振动影响的方法和措施。

3.3

容许振动限值allowablevalueofvibration

保证精密设备或仪器能正常运行的其支承位置处的最大振动量值。

保证精密设备及仪器能正常运行的支承结构处的最大振动量值。（GB51076）

3.4

主动隔振措施activevibrationisolationmeasures

为减小振源对环境产生振动影响而对