CN119496040A 一种大口径高功率垂直腔面发射激光器及其使用方法 （中国工程物理研究院激光聚变研究中心）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119496040A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202411761311.X

(22)申请日2024.12.03

(71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心

地址621999四川省绵阳市绵山路64号

(72)发明人吴振海胡东霞张君龙蛟李平高松田晓琳孙喜博

(74)专利代理机构北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357

专利代理师李晶

(51)Int.Cl.

H01S5/183(2006.01)

H01S5/042(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图4页

(54)发明名称

一种大口径高功率垂直腔面发射激光器及

其使用方法

(57)摘要

CN119496040A本发明涉及一种大口径高功率垂直腔面发射激光器及其使用方法，属于半导体激光器技术领域，大口径高功率垂直腔面发射激光器依次包括第一面电极、衬底、N型DBR、有源区、P型DBR以及第二面电极，第二面电极或第一面电极为等离子体电极，等离子体电极以环形放电电极击穿放电气体产生的低温等离子体作为电极，等离子体电极位于垂直腔面发射激光器的出光侧，等离子体电极靠近衬底的侧面设置有绝缘层，绝缘层上均布有漏流孔，本发明能够解决现有技术无法实现大口