CN119496042A 多结垂直腔面发射激光器及其制备方法 （苏州长光华芯光电技术股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119496042A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202510073864.4

(22)申请日2025.01.17

(71)申请人苏州长光华芯光电技术股份有限公司

地址215163江苏省苏州市高新区漓江路

56号

申请人深圳麦克韦尔科技有限公司

(72)发明人苗霈王俊刘恒肖垚闵大勇李泉灵

(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理

有限公司11250

专利代理师刘贺秋

(51)Int.Cl.

H01S5/183(2006.01)

H01S5/065(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图6页

(54)发明名称

多结垂直腔面发射激光器及其制备方法

(57)摘要

CN119496042A本发明涉及激光器技术领域，公开了多结垂直腔面发射激光器及其制备方法。激光器包括衬底层、外延结构、第一氧化层和第二氧化层，外延结构包括第一反射镜层、包括多个势垒层和隧道结的有源层和第二反射镜层；具有第一氧化孔的第一氧化层设置在隧道结的一侧上，第二氧化层设置在隧道结的另一侧上，具有与第一氧化孔同心的第二氧化孔，第一氧化层的氧化深度大于第二氧化层；一个隧道结、第一氧化层和第二氧化层形成一个集成结构，置于驻波场的一个波谷内。形成