CN119496041A 一种双电源驱动垂直腔面发射激光器及其使用方法 （中国工程物理研究院激光聚变研究中心）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119496041A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202411761312.4

(22)申请日2024.12.03

(71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心

地址621999四川省绵阳市绵山路64号

(72)发明人吴振海胡东霞张君龙蛟李平高松田晓琳孙喜博

(74)专利代理机构北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357

专利代理师李晶

(51)Int.Cl.

H01S5/183(2006.01)

H01S5/042(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图5页

(54)发明名称

一种双电源驱动垂直腔面发射激光器及其

使用方法

(57)摘要

CN119496041A本发明涉及一种双电源驱动垂直腔面发射激光器及其使用方法，属于半导体激光器技术领域，双电源驱动垂直腔面发射激光器依次包括第一面电极、衬底、N型DBR、有源区、P型DBR以及第二面电极，第二面电极或第一面电极为等离子体电极，等离子体电极包括阴极、阳极以及放电腔，其以阴极放电击穿放电腔内放电气体产生的低温等离子体作为电极，等离子体电极位于垂直腔面发射激光器的出光侧，等离子体电极靠近衬底的侧面设置有绝缘层，绝缘层上均布有漏流孔，阴极与阳