CN119561517A 一种体声波谐振器及其制备方法 （安徽安努奇科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119561517A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510128207.5

(22)申请日2025.02.05

(71)申请人安徽安努奇科技有限公司

地址230088安徽省合肥市高新区创新大

道2800号创新产业园二期J1栋C座602

室

(72)发明人周志虎何军

(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

有限公司11463

专利代理师崔熠

(51)Int.Cl.

H03H9/17(2006.01)

H03H9/02(2006.01)

H03H3/02(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图5页

(54)发明名称

一种体声波谐振器及其制备方法

(57)摘要

CN119561517A本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及微机电系统技术领域，本申请的体声波谐振器，包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极，衬底内形成有声反射结构，底电极、压电层、顶电极以及声反射结构在衬底上的投影重叠的区域为有效谐振区，在有效谐振区边缘，顶电极向上弯曲与压电层之间形成间隙，顶电极上表面上形成有加强结构，加强结构的导电率大于顶电极的导电率，且加强结构在衬底上的投影大于等于间隙在衬底上的投影。本申请提供的体声波谐振器及其制