CN119572465A 一种摆动振子式压电微泵及其驱动和制备方法 （杭州电子科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119572465A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202510131030.4

(22)申请日2025.02.06

(71)申请人杭州电子科技大学

地址310018浙江省杭州市下沙高教园区2

号大街

(72)发明人轩伟鹏吕文成倪嘉锋吴子扬倪家辉李文钧董树荣孙玲玲金浩刘军骆季奎

(74)专利代理机构杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)33240

专利代理师陈炜

(51)Int.Cl.

F04B45/047(2006.01)

H10N30/20(2023.01)

H10N30/03(2023.01)

H10N39/00(2023.01)

B08B5/02(2006.01)

F04B39/12(2006.01)

F04B39/06(2006.01)

B23P15/00(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图11页

(54)发明名称

一种摆动振子式压电微泵及其驱动和制备

方法

(57)摘要

CN119572465A本发明提供一种摆动振子式压电微泵及其驱动和制备方法；该压电微泵包括支撑结构，设置在支撑结构两端的第一通流层和第二通流层，以及设置支撑结构内的致动器。致动器包