原创力文档哈工大威海微电子器件可靠性1002页课件哈工大威海微电子器件可靠性1002页课件
*图一2003ITRSTechnologyTrends*WHOANDWHY为什么要进行DFM?集成电路(IC)制程技术不断的微缩，在稳定性的控制上日形艰难及许多制程上的衍生效应于先前设计时并未被充分考虑，使得IC可正常功能的幅度（Margin）及良率（Yield）提升的速度在奈米世代后开始受到明显的影响，因此一些‘可制造性导向设计’（DesignForManufacturability，以下简称DFM）的解决方案，在近一、二年来开始成为重要的主题。什么是DFM？DFM或相似DFY（DesignforYield，良率导向设计），简而言之即由制程人员将I
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