CN119668020A 一种掩膜版及测试键的摆放方法 （合肥晶合集成电路股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119668020A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510185997.0

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司

地址230000安徽省合肥市新站区合肥综

合保税区内西淝河路88号

(72)发明人叶伟魏姣阳余仁张新秀徐明睿

(74)专利代理机构上海汉之律师事务所31378

专利代理师胡雨

(51)Int.Cl.

G03F1/44(2012.01)

H01L23/544(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图7页

(54)发明名称

一种掩膜版及测试键的摆放方法

(57)摘要

CN119668020A本发明提供了一种掩膜版及测试键的摆放方法，掩膜版包括芯片图形区，多个芯片图形区阵列排布，以形成芯片区域；内切割道区，设置于相邻两行的芯片图形区之间；以及测试键，设置于内切割道区上；其中，芯片区域被划分为依次相连的第一外围区域、中心区域以及第二外围区域；将第一外围区域与第二外围区域的多个测试键按照顺序依次设于对应的内切割道区内；将中心区域的测试键以位于中心处的内切割道区的中心处为中心，呈向外扩散状设置。通过本发明提供的一种掩膜版及测试键的摆放方法，以使摆

CN119668020