CN119725327A 一种对准标记版图及其操作方法 （荣芯半导体(宁波)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119725327A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202510232071.2

(22)申请日2025.02.28

(71)申请人荣芯半导体（宁波）有限公司

地址315809浙江省宁波市北仑区柴桥街

道金水桥路28号4幢1号1层-1

(72)发明人孙妍

(74)专利代理机构北京市磐华律师事务所11336

专利代理师高伟

(51)Int.Cl.

H01L23/544(2006.01)

G03F7/20(2006.01)

G03F9/00(2006.01)

G03F1/42(2012.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

一种对准标记版图及其操作方法

(57)摘要

CN119725327A本申请公开了一种对准标记版图及其操作方法，对准标记版图包括：第一标记，包括参考层第一标记和当前层第一标记，两者的形状和尺寸相同；多个呈旋转对称的第二标记，每个第二标记包括中间第二标记以及间隔设置的外围第二标记和内围第二标记，每个中间第二标记的位置和一个外围第二标记和内围第二标记之间的间隔的位置对应，当中间第二标记为当前层第二标记时，外围第二标记和内围第二标记构成参考层第二标记。本申请通过设置当