扫描电镜技术在材料分析中的应用.pptVIP

2.4.1电镜近期发展介绍

电镜自1932年问世以来，经过半个世纪的发展，不但作为显微镜主要指标的辨别本事已由10nm(1939年第一台商用透射电镜)提升到0.1-0.3nm，能够直接辨别原子，并且还能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成的分析，成为全方面评价固体微观特征的综合性仪器。;电镜在材料科学中的应用能够说是经历了三个高潮：

1）50-60年代的薄晶体中位错等晶体缺点的衍衬像的观察；

2）70年代极薄晶体的高辨别结构像及原子像的观察；

3）80年代兴起的分析电镜的对纳米区域的固体材料，用X射线能谱或电子能量损失谱进行成分分析及用微束电子衍射进行结构分析。;在此期间，人们还致力于发展超高压电镜、扫描透射电镜、环境电镜以及电镜的部件和附件等，以扩大电子显微分析的应用范围和提升其综合分析能力。;2.4.2高辨别电镜

高辨别电镜可用来观察晶体的点阵像或单原子像等所谓的高辨别像。这种高辨别像直接给出晶体结构在电子束方向上的投影，因此又称为结构像(图4-86)。

加速电压为100kV或高于100kV的透射电镜(或扫描透射电镜)，只要其辨别本事足够的高，在合适的条件下，就能够得到结构像或单原子像。从用100kV、500kV和1000kV电镜所观察到的原子排列很接近理论预言的情况，也和X射线、电子衍射分析成果相近。;图4.86硅[1