CN119901754B 基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法 （浙江大学杭州国际科创中心）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119901754B

(45)授权公告日2025.06.24

(21)申请号202510345084.0

(22)申请日2025.03.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119901754A

(43)申请公布日2025.04.29

(73)专利权人浙江大学杭州国际科创中心

地址310000浙江省杭州市萧山区建设三

路733号

(72)发明人杨青胡慧琴路天畅金伟正徐月暑崔玉栋匡翠方刘旭

(74)专利代理机构杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙)33260

专利代理师姚宇吉

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G06T7/00(2017.01)

G06V10/764(2022.01)

G06V10/82(2022.01)

G06N3/0464(2023.01)

G06N3/096(2023.01)

G06N3/045(2023.01)

(56)对比文件

CN118275382A,2024.07.02

CN104316180A,2015.01.28审查员刘子萱

权利要求书4页说明书11页附图5页

(54)发明名称

基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检

测系统及