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特征波长设备维护细则

特征波长设备维护细则

一（1）光学模块周期性清洁与校准在特征波长设备维护体系中的基础作用。特征波长设备的核心在于其光学系统的稳定性与精度，而光学模块的洁净度和校准状态直接决定了波长输出的准确性与重复性。在日常维护工作中，需建立分级清洁机制，针对不同污染程度采取差异化处理方案。对于光学窗口表面的浮尘，应采用高纯度氮气吹扫配合无绒光学擦拭布进行轻柔处理，严禁使用普通纸巾或含纤维织物接触镀膜表面，避免造成不可逆的划痕损伤。当窗口表面附着油性污渍或指纹残留时，需使用分析纯级丙酮或无水乙醇浸润专用光学棉签，沿单一方向螺旋式向外擦拭，每次擦拭后更换新棉签，防止污染物二次转移。