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光刻胶感光剂配制指引

1.总则与适用范围

本指引旨在规范光刻胶感光剂（PhotoactiveCompound,PAC）的配制全过程，确保感光剂溶液的化学稳定性、感光性能及洁净度满足半导体及微纳加工工艺的高标准要求。感光剂作为光刻胶的核心组分，其配制质量直接决定光刻胶的分辨率、对比度及感光速度。本指引详细规定了从原材料准备、溶解工艺、过滤纯化到质量检验的全流程操作参数，适用于i线（365nm）、g线（436nm）及宽谱紫外光刻胶感光剂的实验室研发及中试生产配制。

2.作业环境与安全规范

2.1洁净室环境要求

感光剂配制必须在严格控制的洁净室环境中进行，以防止微小颗粒污染导致光刻胶出现针孔或