LED用蓝宝石基板衬底详细介绍,加工制程与技术参数.pptxVIP

LED用蓝宝石基板衬底详细介绍加工制程与技术参数全面解析

Contents目录LED用蓝宝石基板衬底详细介绍01蓝宝石材料概述与基本特性02基板加工制程全流程03关键技术参数解析04图案化蓝宝石基板（PSS）技术05市场格局与发展趋势

Chapter01蓝宝石材料概述与基本特性从晶体结构与理化性能解读蓝宝石作为LED衬底的核心优势

MATERIALPROFILE蓝宝石的基本材料特性蓝宝石（α-Al?O?单晶体）凭借六方晶系结构、莫氏硬度9的超高机械强度、优异的宽波段透光性以及1000℃以上的热稳定性，成为LED氮化镓外延层生长最理想的衬底材料，目前占据全球LED衬底市场超过90%的份额。α-Al?O?蓝宝石单晶体实物01化学成分为三氧化二铝（Al?O?）单晶体，属六方晶系，晶格常数a=0.4758nm、c=1.2991nm，与GaN晶格失配度约13.8%，是目前可工业化量产的最优衬底选择02莫氏硬度达9级（仅次于金刚石），具有极高的机械强度和耐磨损性，能承受后续加工制程中的研磨、抛光等高强度机械加工而不碎裂03在可见光至近红外波段（200nm-5000nm）具有优异透光性，透光率超过85%，有利于LED产生的光线高效透过衬底向外辐射，提升光萃取效率04化学性质极其稳定，耐酸碱腐蚀，热稳定性优异，可承受MOCVD外延生长中1050℃-1100℃的高温环境而不发生结构退化或表面劣