考如有不当之处请联系改正或者删除靶的电极上接通高频电源后高频电压不断改变极性等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分别打到绝缘靶上由于电子迁移率高于正离子绝缘靶表面带负电在达到动态平衡时靶处于负的偏置电位从而使正离子对靶的溅射持续进
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