《微机电系统（MEMS）技术偏转镜重复定位精度测量方法》.docxVIP

微机电系统（MEMS）技术扫描镜重复定位精度测量方法

1.范围

本文件规定了MEMS扫描镜重复定位精度的测量方法。

本文件适用于基于反射镜面偏转的准静态和矢量MEMS扫描镜的重复定位精度评价。其它类型的MEMS扫描镜可参照执行。

本文件适用于增加闭环反馈的MEMS扫描镜及模组，在开环或闭环工作状态下重复定位精度的测量，以及零位重复定位精度的测量。

2.规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T26111-2023微机电系统（MEMS）技术术语

JB/T8232-2024自准直仪第4部分：技术要求

JB/T8379-1996光学仪器通用技术条件

3.术语和定义

GB/T26111-2023界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1MEMS扫描镜MEMSscanningmirror

一种采用微纳制造技术制备，通常包含反射镜面、框架以及连接反射镜面和框架的弹性梁，且弹性梁可在外界施加的激励信号驱动下产生扭转或弯曲变形，带动反射镜面产生相应的偏转，从而对反射光束进行方向调制的MEMS执行器件。

3.2反射镜面reflect