FFUHEPA更换周期与维护计划.docx

FFU/HEPA更换周期与维护计划

文档编号：__（批注：填写企业内部文件编号，如FFU-MAINT-202X-001）版本号：__（批注：填写版本，如V1.0）生效日期：__年月__日编制部门：__（批注：填写设施管理部/动力部/洁净室运维部）编制人：__审核人：__批准人：__

1.目的

本计划旨在规范__（批注：填写适用区域，如半导体洁净车间、实验室、生产车间）内FFU（风机过滤单元）与HEPA（高效空气过滤器）的更换周期、维护流程及质量管控，保障洁净环境的洁净度等级符合__（批注：填写标准，如ISO14644-1Class5/6/7）要求，延长设备使用寿命，降低运行能耗与故障风