集成电路可靠性设计与评价 课件07失效分析.pptx

集成电路可靠性设计与评价

第七章失效分析

7.1、失效分析的内容和程序7.2、失效模型7.3、微分析技术7.4、失效分析案例

7.1、失效分析的内容和程序失效分析的目的及作用核心定义失效分析是借助各种先进的微观分析手段，按照科学的流程，对集成电路的外观、结构和成分进行检查分析，最终从多学科角度探究并解释其失效机理和原因的过程。提高集成电路的设计水平：定位设计缺陷，如ESD防护不足，从而优化设计。提高集成电路的制造水平：发现制造过程中的缺陷，指导制程优化和质量管控。提高集成电路用户的设计水平：帮助用户定位因使用不当（如EOS）导致的失效，优化应用方案。主要作用

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