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真空镀膜机安全风险告知书

为规范真空镀膜机全生命周期的操作、维护、检修及管理流程，明确各相关方安全责任，防范各类安全事故发生，保障作业人员生命安全及设备财产安全，依据《中华人民共和国安全生产法》《特种设备安全监察条例》《危险化学品安全管理条例》《用电安全导则》等国家法律法规及行业标准，现将真空镀膜机全流程涉及的安全风险、管控措施及应急处置要求告知如下，所有涉及真空镀膜机作业的人员必须严格遵守本告知书各项要求。

一、设备基本信息及作业范围界定

（一）核心参数说明

真空镀膜机典型配置参数如下，实际作业以设备铭牌标注为准：

1.真空系统参数：前级泵为旋片式/罗茨式真空泵，极限压强≤5×10^-3Pa（低真空配置）/≤5×10^-5Pa（高真空配置），抽气速率100-3000L/s；扩散泵/分子泵工作温度180-250℃（扩散泵）/≤80℃（分子泵），扩散泵油为硅油/矿物油，闪点≥260℃。

2.腔体参数：材质为304/316不锈钢，容积0.1-10m3，设计耐压-0.1MPa（极限真空）至0.15MPa（充气破真空工况），开门方式为手动/气动/液压垂直开门/水平开门。

3.电气系统参数：额定电压380V/220V，总功率15-200kW，高频溅射电源输出功率1-50kW、频率13.56MHz，电子束蒸发电源加速电压6-10kV、电流0.1-1A，离子源电源电压1-5kV。

4.工